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カーボンニュートラル・高い信頼性・使いやすいを追求したプラグインバルブTVGシリーズのマニホールドベース搭載用の電磁弁単体の形番です。耐久回数は1.2億回です。(。メーカー所定条件による)。バルブのエアもれしやすい箇所を徹底改善し、装置非稼働時でエアもれを最小限に留め、CO2排出量の削減に貢献します。低摺動化による安定した作動はアクチュエータの確実な作動をサポートし、設備の安定稼働および、品質のバラツキ低減を実現します。ご要望の多かった使用流体”窒素”を保証します。揮発しにくい特殊グリースの特性を活かし、耐久試験2000万回を超え現在も評価継続中です。(。2026年2月現在)。アクチュエータ追加はプラグインで配線完了します。スペーサ部品の後付けなども簡単に行えます。だれでも簡単にバルブとベース間の位置決めができる「位置決めサポート」を標準装備しています。ガスケットはマニホールドベースに内蔵のため、アクチュエータ追加時の脱落部品もありません。タフに使えるIP65/67(耐塵、防噴流)対応です。バルブに後付け可能なスペーサオプションを豊富にラインアップしています。急な装置の仕様変更にもマニホールドにスペーサ追加で対応可能です。<スペーサオプション>給気スペーサ、排気スペーサ、パーフェクトスペーサ、スペーサ形レギュレータ。(。P減圧、A減圧、B減圧が選択可能)、インストップ弁付スペーサ。バルブ幅(15mm)は省スペースのままΦ10継手を追加し、アクチュエータに供給できるエア流量が増加しました。(エアシリンダの速度はエア配管が長い、細いと遅くなります。長距離配管かつエアシリンダを高速に動作させたい場合、Φ8継手より1サイズ大きいΦ10継手がオススメです。)

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。