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接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。 ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。 低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。 取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。 ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。

接ガス部にベアリングのない高湿ガス対応設計です。水蒸気吸引と連続大気開放運転が可能です。エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止します。