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下板と移動テーブル(上板)に直接ガイドを加工・焼入れ研削し、スチールボールを配列させた、2枚板構成の一体加工型の高精度直線移動ガイドです。
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
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