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高剛性・精密型自動ステージ OSMS26(X)
シグマ光機￥139,800～税込￥153,780～1個当日出荷から13日以内出荷高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
精密小型ZF軸自動ステージ OSMSシリーズ
シグマ光機￥139,800税込￥153,7801個当日出荷高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。種類Zステージ送り方式送りネジ移動ガイドアウターレール構造テーブル幅(mm)60テーブル長さ(mm)60
ステッピングモータ駆動小型自動ステージ TSDMシリーズ
シグマ光機￥62,980税込￥69,2781個当日出荷本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。仕様【<ステッピングモータ駆動小型自動ステージ ステージサイズ□40/□60mm>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.35A/相(オリエンタルモータ(株))、モータ品番：PK513PB-C9(□20mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC5～24V±10%、センサ消費電力：TSDM40-15X：40mA以下(1センサ当たり20mA以下)、TSDM60-20X：30mA以下(1センサ当たり15mA以下)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理：遮光時：出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ：SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、適応コントローラ：PAT-001、GSC-01、SHOT-102、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:15mm、送りネジ：精密研削ネジΦ5mm、リード0.5mm、ステージ材質：鉄、表面処理：スーパーブラッククロム、質量：0.35kg、分解能(Full)：1μm/パルス、分解能(Half)：0.5μm/パルス、MAXスピード：5mm/sec、位置決め精度：20μm、繰返し位置決め精度：10μm、モーメント剛性/ピッチング：0.4″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング：0.4″/N・cm、モーメント剛性/ローリング：0.4″/N・cm、ロストモーション：10μm、バックラッシ：10μm、平行度：50μm、走り平行度：10μm、ピッチング：20″、ヨーイング：20″、センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPI(シャープ株式会社)、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：無、近接原点センサ：無アズワン品番61-6985-49耐荷重(N)29.4移動ガイドボールガイドテーブル幅(mm)40テーブル長さ(mm)40
高剛性・精密型自動ステージ OSMS26(Z)
シグマ光機￥149,800～税込￥164,780～1個12日以内出荷から13日以内出荷高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。種類Zステージ耐荷重(N)39.2送り方式ボールねじ移動ガイドアウターレール構造
コンパクトスケール内蔵自動ステージ OSMS(CS)26
シグマ光機￥219,800～税込￥241,780～1個12日以内出荷専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
高耐久型自動アライメントステージ HDSシリーズ
シグマ光機￥149,800～税込￥164,780～1個12日以内出荷から13日以内出荷半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
高剛性・精密型自動ステージ OSMS33(X)
シグマ光機￥299,800～税込￥329,780～1個13日以内出荷高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
コンパクトスケール内蔵自動ステージ OSMS(CS)33
シグマ光機￥429,800～税込￥472,780～1個13日以内出荷高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・精密型自動ステージ OSMS33(Z)
シグマ光機￥339,800～税込￥373,780～1個20日以内出荷高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
