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ダイヤフラム式の誤動作の少ないフロースイッチです。

強固な2本のガイドロッドとエアシリンダを軽量アルミボディーにコンパクトに収納しました。 ツインガイド構造により、不回転精度、位置決め精度を向上させました。 ロッドの上下限位置検出用マグネットが標準内蔵されています。 中間ストロークはスペーサにて1mm対応が可能です。

強固な2本のガイドロッドとエアシリンダを軽量アルミボディーにコンパクトに収納しました。 ツインガイド構造により、不回転精度、位置決め精度を向上させました。 ロッドの上下限位置検出用マグネットが標準内蔵されています。 中間ストロークはスペーサにて1mm対応が可能です。

・KF(NW)フランジが一体型となったコンパクトな真空用ボールバルブです。 ・接続口径とボール内径がほぼ同一サイズで(フルボア型)、異物が詰まりにくく、圧力損失が少ないです。 ・材質がSUSの為、反応生成物に強いです。