フロロメカニックのピンセット

低パーティクルで、導電性に優れています。

低パーティクルで、導電性に優れています。

エアを引きっぱなしのため、ウエハーに近づけるだけでウエハーが吸着します。 ボタンひとつでウエハーの着脱が可能です。 本体は導電性に優れた炭素繊維入りナイロン樹脂(トレカ)を用いています。 吸着チップは耐薬品性、耐熱性、強靱性に優れた導電性PEEK樹脂を使用しています。