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2(2)
3(29)
5(51)
・SY3000/5000/7000シリーズのノンプラグインタイプマニホールドと
同一のマニホールドが用意されています。
ポート数5
・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一の
マニホールドが用意されています。
・N.C./N.O.の変更が容易。
ポート数3
・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一の
マニホールドが用意されています。
・N.C./N.O.の変更が容易。
ポート数3
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一の
マニホールドが用意されています。
・N.C./N.O.の変更が容易。
ポート数3
・全波整流器内蔵(ACの場合)
・長寿命:5000万回以上。
・パイロット弁にストレーナ内蔵。
・外部パイロット形は真空使用可能。
・マニホールド型式:VV3P3,VV3P5,VV3P7
ポート数3
・小型・省スペースタイプをラインナップ。
配管方向寸法MAX.29%短縮。
・ボディ材質:New PFA
・ダイヤフラム材質:PTFE
・アクチュエータ部材質:PPS
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
オリフィス径(Φmm)4
耐圧(MPa)1
弁漏れ(cm3/min)0(水圧にて)
周囲温度(℃)0~60
流量特性Av×10-6m2:8.4、Cv:0.35
ポート径M5
駆動方式(0)自動運転
材質(ダイヤフラム)(2)NBR
材質(接液部)(1)ADC12(アルミニウム)
・VZ2000/4000シリーズのマニホールドと同一のマニホールドが用意されています。
・VQZ2000/3000のマニホールドにも搭載可能。
ポート数5
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
・VZ2000/4000シリーズのマニホールドと同一のマニホールドが用意されています。
・VQZ2000/3000のマニホールドにも搭載可能。
ポート数5
・VZ2000/4000シリーズのマニホールドと同一のマニホールドが用意されています。
・VQZ2000/3000のマニホールドにも搭載可能。
ポート数5
・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一の
マニホールドが用意されています。
・N.C./N.O.の変更が容易。
ポート数3
・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一の
マニホールドが用意されています。
・N.C./N.O.の変更が容易。
ポート数3
・VP300/500/700シリーズの内部パイロット仕様のマニホールドと同一の
マニホールドが用意されています。
・N.C./N.O.の変更が容易。
ポート数3
・ボディ材質:New PFA
・同一形状のN.C./N.O./複動。
・流体温度100℃に対応。
・マニホールド型式:LLC2,LLC3,LLC4,LLC5
ボディクラス4
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。
・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。
・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。
・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。
常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。
・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。
フットプリント削減に貢献。特殊構造により弁閉時の衝撃を低減。パーティクルの発生を抑制。耐薬品性物質を採用。高圧/高背圧対応
使用圧力(MPa)0~0.5
耐圧(MPa)1
弁形式N.C.
使用流体温度(℃)0~120
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(1.33MB)
背圧(MPa)0.5以下
継手種類LQ3
フットプリント削減に貢献
特殊構造により弁閉時の衝撃を低減。パーティクルの発生を抑制。
耐薬品性物質を採用
高圧/高背圧対応
使用圧力(MPa)0~0.5
弁形式N.C.
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(1.22MB)
背圧(MPa)0~0.5
継手種類LQ3
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