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水冷却式サーモチラー/高機能インバータタイプ (HRW-~)SMC翌々日出荷から9日以内出荷
・工場内循環水との直接熱交換器。
・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
・インバータタイプの選択可能。
欧州Fガス規制対応サーモチラー ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプSMC¥2,298,000~税込¥2,527,800~
1台
翌々日出荷から30日以内出荷
DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御
RoHS指令(10物質対応)対応関連資料カタログ(8.19MB)取扱説明書取扱説明書(30.44MB)
欧州Fガス規制対応サーモチラー ポンプインバータタイプSMC¥3,198,000~税込¥3,517,800~
1台
30日以内出荷
DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御
設定温度(℃)-20~40冷却能力(kW)8RoHS指令(10物質対応)対応関連資料カタログ(8.19MB)取扱説明書取扱説明書(30.44MB)
低GWP冷媒対応サーモチラー レーザ用デュアルタイプ HRLF SeriesSMC¥4,698,000~税込¥5,167,800~
1台
30日以内出荷
低GWP冷媒対応GWP:146※ ※ Regulation (EU) 2024/573, AIM Act 40 CFR Part 84基準EU冷媒規制:GWP 150以上米国冷媒規制:GWP 700以上カリフォルニア州冷媒規制:GWP 750以上環境対応冷媒R454C (空輸不可)1台のチラーで2系統を個別に温調可能省スペース/省配線タッチパネルテンキー入力可能アラーム内容、メンテナンス時期のお知らせを表示温度波形グラフ表示可能
用途レーザー用デュアルタイプ付属品取扱説明書(設置・運転編)2冊(和文/英文各1冊)、CH1用パーティクルフィルタセット1式、CH2用パーティクルフィルタセット1式、アンカーボルト固定金具2個(M8ボルト6個含む)電源(V)三相AC380~415(50Hz)/三相AC380~480(60Hz)最大流量(L/min)CH1:130、CH2:16最大揚程(m)CH1:55、CH2:49定格流量(L/min)CH1:45(0.45MPa)、CH2:10(0.45MPa)使用冷媒R454C(HFO/HFC,GWP:146)設定温度(℃)CH1:5~35、CH2:10~40RoHS指令(10物質対応)対応
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扇状ノズルネオフレックス税込¥1,758~¥1,598~