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25A(7)
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ZR100 - 真空ポンプシステム/単体SMC￥28,980～税込￥31,878～
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エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-40MSMC￥109,800税込￥120,780
1個
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フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面右
アルミニウム製 高真空L型バルブ(電磁弁付) XLAVシリーズ XLAV-16LSMC￥43,980税込￥48,378
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電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLFシリーズ XLFV-40FSMC￥61,980税込￥68,178
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電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLCシリーズ XLCV-25MSMC￥49,980～税込￥54,978～
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フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)CE-対応品-操作ポート方向フランジ面右表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-40KSMC￥109,800～税込￥120,780～
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重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面左
アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-50KSMC￥119,800～税込￥131,780～
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フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面左
アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-40LSMC￥109,800～税込￥120,780～
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フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面裏
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLFシリーズ XLFV-25GSMC￥49,980税込￥54,978
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高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
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アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-63MSMC￥179,800税込￥197,780
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フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路付オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，2線式，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC24V(DC10～28V)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面右
アルミ製 高真空L型バルブ 二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-50MSMC￥129,800税込￥142,780
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フッ素に強い
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重金属汚染が少ない
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(NPN)，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面右
アルミニウム製 高真空L型バルブ(電磁弁付) XLAVシリーズ XLAV-16FSMC￥49,980税込￥54,978
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アルミボディ採用
均一なベーキング温度
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