線膨張係数が、窒化アルミニウムや炭化ケイ素と比較しても同等値をもつ非常に優れた低熱膨張材料です。加工性が良くコンタミの問題がありません。熱衝撃性に強いセラミック材料です。
仕様線膨張係数(350℃時)：4.7×10^-6/℃、面粗さ：Ra1.6、熱伝導率：16.3W/(m・K)、耐熱衝撃性：350K
平行度(μm)10
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