ULVAC(アルバック)の真空ポンプ・真空ユニット

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。 低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。 取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。 ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。

ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです 修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです

油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです

減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 小型、軽量、低価格 サーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮 シンプルな構造でメンテナンスも容易

油回転真空ポンプの排気側取付用部品です

マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。 ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。

ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダー内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。大きな排気速度を有していますが、消費電力が低く環境にやさしい真空ポンプです。また、寿命試験では18000時間をクリアした長寿命配慮となっています。(DOP-300SA実機試験による)

接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。 到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ。 ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能。 自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。 大気圧から作動が可能。シンプル構造で、メンテナンスが容易。

真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです 修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです

真空ポンプの吸気口径変更用の吸気管オプション部品です。

接ガス部にPTFEなどの耐食性に優れた部品を使用した、ケミカルタイプのダイアフラム型真空ポンプです。

G-101D、G-101S、GHD-031A、GHD-031B、GLD-040、GLD-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A用オイルキャップです。

GLD-136/GLD-201他。用オイルドレーンプラグです。

接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。

マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。 吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。 低騒音で低振動。 強制給油機構搭載により、排気速度が安定。 大気圧からの作動が可能。 内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。

接ガス部にPTFEを使用する事で、耐薬品性、耐食性に優れた真空ポンプです。 有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に最適です。 耐薬品性に優れて、しかも高真空。 小型、省スペース。低騒音、低振動。低消費電力。 長寿命で、メンテナンスも容易。

真空ポンプのオプション部品です。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。

排気音低騒音タイプです。油漏れ防止のマグネットカップリングを採用しました。

接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。大排気量でコンパクトサイズです。大気圧から作動が可能です。

真空ポンプ油の逆流防止用(逆流防止機構未対応機種用)オプション部品です。

組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。

真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです 修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです

接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。加圧専用タイプもあります。自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。

清音タイプとなりオフィスや静かな研究室で使っても運転音が気になりません。真空ポンプから漏れ出る油を処理する必要がありません。装置側に油が逆流して装置を汚す心配がありません。異電圧に別作対応です。

GLS-051/GLD-051/GCD-051X用のベーンスプリングです。