配管・水廻り部材/ポンプ/空圧・油圧機器・ホース :「SCN」の検索結果
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関連キーワード
・保護構造IP67
・最大入力32点、最大出力32点
・M8,M12コネクタによりセンサ接続が可能
用途適用バルブ:SY3000,5000,7000(プラグイン)
VQC1000,2000,4000
SV1000,2000,3000
S0700(IP40)
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
仕様真空用デジタル圧力スイッチユニットの場合(ZSE3):なし
CE-対応品-
エジェクタ排気形式サイレンサ付
PV・Vポート管接続口径M5X0.8
エジェクタユニットノズル径0.5mm
オーダーメイド仕様標準
仕様循環液タイプ:(1) エチレングリコール水溶液
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
冷却能力(kW)10
ねじの種類Rc
・ノンフロン。・CO2冷媒を採用。・GWPを大幅に削減。・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可。 EU冷媒規制 :GWP150以上。 米国冷媒規制 :GWP700以上。 カリフォルニア州冷媒規制 :GWP750以上。 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能。・フロン回収、廃棄コスト不要。・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要
用途ポンプインバータ&冷凍機インバータタイプ 循環液温調装置
質量(kg)175±5
外形寸法(mm)380×870×950
適合規格SEMI、CE/UKCA、UL
電源電圧3相AC200/200~208±10%(50/60Hz)
冷却方式水冷冷凍式
使用冷媒R744(CO2、GWP:1)
温度制御方式PID制御
設定温度範囲-20~90℃/(温度安定性)±0.1
周囲温度(℃)10~35
冷却能力(kW)10
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.92MB)
取扱説明書取扱説明書(8.21MB)
運転電流(A)最大26
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ2000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ2000
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ1000
・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした
省スペース設計。
・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。
・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など)
・豊富な集中配線方式。
・4位置デュアル3ポート弁。
・マニホールド型式:VV5Q11,VV5Q21
シリーズVQ2000
流量を数値管理可能な目盛窓付
分解能向上により微調整が可能。
副尺表示により、1/4毎の細かい設定が可能
32分割(ボディサイズ1)
40分割(ボディサイズ2)
作業工数、設定ミスを低減
形式エルボタイプ
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料カタログ(5.93MB)
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
100gまでの電子部品や小物精密部品に最適
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
マニホールド化可能
シリーズSY5000
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