特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。
クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。
用途フロロメカニック社製ウエハー搬送用ピンセット専用の真空ポンプ。
幅(mm)137
奥行(mm)88
定格電圧(V)AC100
使用限界温度(℃)40
騒音値(dB(A))(50/60Hz)0
耐久性耐久時間/9000時間以上
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