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・ショックを嫌うワークのスピード搬送を実現。 ・シンプルな回路で省スペース化を実現。 ・クリーンルームClass M3.5(Fed.Std.209E)に対応 クリーンルーム対応形では、リリーフポートからの 排気や真空掃引によって内部の発塵を除去します。