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エコロジープロダクト
「mpc bbrn」の検索結果
パネルマウントマスフローコントローラ：MPC
azbil(旧:山武)￥169,800～税込￥186,780～1個21日以内出荷から111日以内出荷● パネルマウント形マスフローコントローラ：制御盤前面からの操作・設定が可能 ● 質量流量を高精度に制御：ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現 ● 表示・操作一体型：流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結 ● 装置組込みに最適：半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用用途● プロセスガス流量制御：成膜、エッチング、洗浄、雰囲気制御 ● 装置用ガス供給制御：半導体・FPD・研究開発装置 ● 分析・試験用途：分析計、評価装置での精密流量制御 ● ガス消費量の安定化：品質ばらつきの低減・再現性向上
マスフローコントローラー
アズワン￥119,000～税込￥130,900～1個当日出荷から24日以内出荷熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
マスフローコントローラー
アズワン￥103,000税込￥113,3001個当日出荷から30日以内出荷熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。耐圧(MPa)1(G)使用圧力範囲(kPa)50～300仕様●外部リークレート：1×10-7Pa・m3/sec(He)以下材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム寸法(mm)127×25.5×100バルブ形式N/Oノーマルオープン電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA再現性±0.2%FS再現性(%)±0.2FS接続1/4in.SWL相当通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)サイズ(mm)127×25.5×100入出力アナログ信号(0～5VDC)流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃)応答性6sec流量制御範囲5～100%FS
気体用マスフローメータ
アズワン(1件のレビュー)￥145,000税込￥159,5001個当日出荷質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。 アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。 ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。 ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
小型フローメータRK1710シリーズ
コフロック(10件のレビュー)￥14,980税込￥16,4781本当日出荷金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。 優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。 RoHS指令対応品です。用途機器組み込み用に。 ガスパージ計測用に。最高使用温度(℃)60材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)接続部のサイズRc1/8質量(g)250接続口径(Rc)1/8目盛10：1(有効)精度FS±10%耐圧(MPa)0.5(G)精度(%)±10F.S.耐熱温度(℃)60保証耐圧力(MPa)0.5材質(接液部)真鍮、硬質ガラス、NBR、POM、SUS316バルブ有りRoHS指令(10物質対応)対応
小型マスフローコントローラ MF-C
HORIBA(堀場製作所)￥79,980～税込￥87,978～1個38日以内出荷から46日以内出荷スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。材質接ガス部：ポリアミド樹脂・フッ素ゴム・ステンレス・アルミナ・半導体シリコン・半田接続口径Φ6mm精度±3%F.S.測定対象気体材質(ボディ)樹脂(禁油なし)適合流体N2/Air
樹脂製流量計 MODEL RK20T SERIES
コフロック(5件のレビュー)￥9,998～税込￥10,998～1個当日出荷空気(AIR)/窒素ガス(N2)用の小型軽量樹脂製流量計です。最高使用温度(℃)65材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS303、シール材/フッ素ゴム接続口径RC1/4接続口径(Rc)1/4精度FS±6%耐圧(MPa)0.7(G)精度(%)±6F.S.適合流体空気(AIR)/窒素ガス(N2)材質(接液部)ABS、アクリル、SUS303、FKM、POM、(硬質ガラス、SUS316、SUS304)
マスフローコントローラ 3660
コフロック￥99,980～税込￥109,978～1個当日出荷から49日以内出荷定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)材質接ガス部材質：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS再現性(%)±0.5F.S耐圧(MPa)1(G)接続電気：D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)使用電源+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA周囲湿度(%RH)許容：10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45入圧(kPa)最大500(G)保存温度範囲(℃)許容：-10～60耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)校正温度(℃)20
小型マスフローメーター MF-F2P10NHシリーズ
HORIBA(堀場製作所)￥47,980～税込￥52,778～1個33日以内出荷から34日以内出荷超小型サイズで、大流量モデルまでラインナップしています。消費ガス、パージガスの流量管理に適しています。瞬時流量及び積算機能を搭載しています。耐圧(MPa)1温度範囲(℃)0～50(結露なきこと)仕様●流量/積算表示方向：SETモードにて上下反転が可能●ニードル弁なし保護構造IP40相当(IEC規格)使用圧力範囲(MPa)-0.09～0.75機能保有：流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力 他最大応答速度(m/sec)50以下消費電流(mA)45以下表示形式(流量表示)4桁+4桁 2色LCD使用周囲温度(℃)0～50表示機能瞬時流量表示・積算流量表示・ツイン表示(二色表示機能)アラーム出力スイッチ出力(NPN)/2点、アナログ出力/1点保護回路電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護材質(ボディ)樹脂保存温度範囲(℃)-10～60EMC規格EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8取付姿勢縦・横自在耐振動10～150 Hz、最大100 m/s2、XYZ方向、各2時間適合流体清浄空気(JIS B 8392-1：2012(ISO 8573-1：2010)[1：1：1～5：6：2] )、圧縮空気(JIS B 8392-1：2012(ISO 8573-1：2010)[1：1：1～1：6：2] )、窒素ガスリード線Φ3.7 AWG26相当×5芯(コネクタ接続)、絶縁体外径Φ1.0スイッチ出力NPN オープンコレクタ出力(50 mA以下、電圧降下2.4 V以下)繰返し精度(%)±1F.S.以内(2次側大気開放)*流体：圧縮空気電圧定在波比導入直管部：不要使用周囲湿度(%RH)90以下応答時間(ms)50以下(応答時間設定0.05 sec(50 msec)時)
液体微少マスフローコントローラ
HORIBA(堀場製作所)￥11,980～税込￥13,178～1個欠品中マイクロリッターからの微少流量制御が可能です。冷却測定方式のため、低沸点液体材料の精密流体制御が可能です。高粘度液体材料の精密流体制御が可能です。
ニードルバルブ付パージ流量計
コフロック￥14,980～税込￥16,478～1台当日出荷から48日以内出荷徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。用途環境計測機器に 一般分析機器に パージ装置用に接続口径(Rc)1/8精度±5%F.S.材質(フロート)パイレックス供給圧力(MPa)0.1出口圧力(MPa)0ニードル位置下部
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥229,800～税込￥252,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45適合流体窒素ガス(N2)バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥229,800～税込￥252,780～1式39日以内出荷から49日以内出荷空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。最大圧力(kPa)入口：500材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプションNBR or CR)測定方法熱式保存温度(℃)-10～60測定対象気体許容周囲温度(℃)5～45適合流体空気(AIR)
MQV-F4Q入力変換アダプタハーネス
azbil(旧:山武)￥24,980税込￥27,4781個7日以内出荷即納可能。新モデルF4Qと旧モデルMQVの入力変換アダプタハーネス。旧モデルMQVと新モデルF4Qを合わせてご使用する際にお使いください。仕様●MQVとF4Qをあわせてお使いの際にご利用いただけます。アズワン品番65-5712-97
電磁流量計 WXシリーズ
愛知時計電機￥359,800～税込￥395,780～1個21日以内出荷から31日以内出荷工場における様々な水管理に最適。可動部が無く、ゴミ詰まりの心配がない。表示がデジタルで視認性も抜群最高圧力使用(MPa)50～150mm：2、200mm：1流体温度(℃)-10～60付属品取付セット(ボルト・ナット)仕様ダンピング(63%応答)：5sec(0.5sec、1sec、10sec、30sec、100sec、200secも設定可)種別Water材質ADC12、強化ガラス(接液部変換器部)・フッ素樹脂(接液部ライニング)・SUS316(接液部計測管)・EPDM(接液部ガスケット)電源(V)24DC±10%保護構造IP64消費電力(W)約6(電源供給電流250mA、電源投入時突入電流ピーク値10A以下)精度フルスケール流量設定が、3m/s相当流量以上の場合±1.0%RD：フルスケール設定値の1/2～フルスケール設定値、±0.5%FS：ゼロカット流量～フルスケール設定値の1/2のフルスケール流量設定が、3m/s相当流量未満の場合(3m/s相当流量が100%FSとなります) ±1.0%RD：3m/s相当流量の1/2～3m/s相当流量、±0.5%FS：ゼロカット流量～3m/s相当流量の1/2表示積算値：999999.999m3(総積算値、トリップ積算、逆流積算値、正逆合算値)・瞬時値：19999L/min・その他：警報(メモリー異常、逆流、過大ノイズ、乾水、電源電圧低下、漏水、過電流)、流速L/s、インジケーター(10段階表示)アナログ出力1点、4～20mA接続ウエハ測定対象液体導電率20μS/cm以上材質(ハウジング)SUS304測定流体水、排水表示器128×64、フルドット液晶、LED白色バックライト付き材質(電極)SUS316(接液部)流体温度範囲(℃)0～60凍結しないこと環境温度範囲(℃)-10～55メモリバックアップ積算値：2分間隔、設定値：設定変更時使用周囲湿度(%RH)5～95凍結・結露無きこと、直射日光は避けること
気体用マスフローメータ：CMSシリーズ
azbil(旧:山武)￥119,800～税込￥131,780～1個31日以内出荷から91日以内出荷●1. 温度・圧力補正が不要の ”質量流量計測”●2. 多種ガスに対応(ガス種切替機能)●3. 高精度 ±3%RD、ワイドレンジアビリティ 100:1●4. 上流直管不要：省スペース設置●5. 低圧損構造(燃焼ガスにも適用)●用途工業炉ガス管理、燃焼制御、エネルギー管理、分析器ガス、研究用途、圧縮空気管理
