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半導体材料ガス探知器新コスモス電機￥144,980税込￥159,478
1台(1台)
14日以内出荷
半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。ガス濃度の変化により、警報音(断続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。1台でさまざまな半導体材料ガス(アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など)に対応。従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。保護等級IP22(JIS C 0920)相当(レザーケース装着時)。
仕様●探知可能濃度：アルシン/0.5ppm ホスフィン/0.3ppm ジボラン/0.2ppm シラン/0.5ppm 水素/1.0ppm●探知方法：熱線型半導体式●検知可能漏洩量：アルシン/2.53×10-7Pa・m3/s ホスフィン/1.52×10-7Pa・m3/s ジボラン/1.01×10-7Pa・m3/s シラン/2.53×10-7Pa・m3/s 水素/5.07×10-7Pa・m3/s寸法(mm)38×130×32(突起物を除く)使用温度範囲(℃)0～+40 85%RH以下(但し、結露なきこと)電源単3アルカリ乾電池×2(付属)表示方式断続音及びアラームランプの点滅連続使用時間約12時間(単3アルカリ乾電池)[常温・常湿において]保護等級IP22相当(レザーケース装着の場合)応答時間10秒以内(探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定)ガス採気方式自動吸引式RoHS指令(10物質対応)対応検知対象ガス半導体材料ガス(アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素)
半導体材料ガス用リークディテクター新コスモス電機￥139,800税込￥153,780
1台
18日以内出荷
半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ。
手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
1台でさまざまな半導体材料ガスに対応(アルシン・ホスフィン・ジボラシ・シラン・水素など)
ごく微量なガスを検知可能。漏えい箇所を見逃しません。
アラームアンプを2ヶ所に搭載。手元でランプが光るので、警報がわかりやすい。
わかりやすいLCD画面を搭載。電池残量や警報音・操作音のON/OFFなどがわかりやすい。
検知対象ガスアルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素濃度(ppm)検知可能/アルシン:0.5、ホスフィン:0.3、ジボラン:0.2、シラン:0.5、水素:1.0付属品レザーケース、ドレンフィルタ、交換用フィルタエレメント、アタッチメント、点検ガス、ハンドストラップ、単3形アルカリ乾電池2本 等質量(g)約190(電池、レザーケース含む)使用温度範囲(℃)0～40 85%RH以下(但し、結露なきこと)電源単3形アルカリ乾電池2本表示検知表示/断続音及びアラームランプの点滅保護等級IP22相当(※レザーケース装着の場合)外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)38×130×32(突起物を除く)ガス採気方式自動吸引式応答時間(秒)10以内(探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定[4])検知原理熱線型半導体式電池使用時間(時間)約12(単3形アルカリ乾電池)[常温・常湿において]漏洩量検知可能/アルシン:2.53×10-7Pa・m3/s、ホスフィン:1.52×10-7Pa・m3/s、ジボラン:1.01×10-7Pa・m3/s、シラン:2.53×10-7Pa・m3/s、水素:5.07×10-7Pa・m3/s
