半導体材料ガス用リークディテクター

 

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半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ。
手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
1台でさまざまな半導体材料ガスに対応(アルシン・ホスフィン・ジボラシ・シラン・水素など)
ごく微量なガスを検知可能。漏えい箇所を見逃しません。
アラームアンプを2ヶ所に搭載。手元でランプが光るので、警報がわかりやすい。
わかりやすいLCD画面を搭載。電池残量や警報音・操作音のON/OFFなどがわかりやすい。
検知対象ガス
アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素
濃度(ppm)
検知可能/アルシン:0.5、ホスフィン:0.3、ジボラン:0.2、シラン:0.5、水素:1.0
付属品
レザーケース、ドレンフィルタ、交換用フィルタエレメント、アタッチメント、点検ガス、ハンドストラップ、単3形アルカリ乾電池2本 等
質量(g)
約190(電池、レザーケース含む)
使用温度範囲(℃)
0〜40 85%RH以下(但し、結露なきこと)
電源
単3形アルカリ乾電池2本
表示
検知表示/断続音及びアラームランプの点滅
保護等級
IP22相当(※レザーケース装着の場合)
外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)
38×130×32(突起物を除く)
ガス採気方式
自動吸引式
応答時間(秒)
10以内(探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定[4])
検知原理
熱線型半導体式
電池使用時間(時間)
約12(単3形アルカリ乾電池)[常温・常湿において]
漏洩量
検知可能/アルシン:2.53×10-7Pa・m3/s、ホスフィン:1.52×10-7Pa・m3/s、ジボラン:1.01×10-7Pa・m3/s、シラン:2.53×10-7Pa・m3/s、水素:5.07×10-7Pa・m3/s
内容量
1台
 
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