材質本体:C3604B、ダイアフラム:FKM+PTFE、弁材:PCTFE、その他:C3604B、SUS304質量(kg)1.6最大流量(L/min)25使用圧力(MPa)二次側:0.2~0.3使用温度(℃)ー10~+40(設計温度:ー10~+75)接続入口:W22-14山(右)袋ナット(P)、出口:Φ8ホース口(M12×1オネジ)フィルター粗さ:200メッシュ使用ガスAr一次側圧力計(MPa)25一次側圧力(MPa)2~15二次側圧力計(MPa)0.6標準流量(L/min)25流れ方向右高圧関連資料(0.98MB)