バキュガード150

真空ポンプから排出されるオイルなどを除去し室内環境汚染を防止(アウトレット側に装着)。
活性炭─エアー中の有機溶媒ベーパ、不純物の除去。
無水硫酸カルシウム─エアー中の酸、水分の除去。
モレキュラーシーブ─エアー中の有機溶媒、アルカリの除去。