真空用テンプ・プレート ミニサイズ4点表示
4点表示・真空内温度測定対応シール プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮
(従来の441シリーズの1/3)貼り付け精度向上ラベルの端から示温素子中心まで2mm。ウエハー・エッジの温度を測る事が出来る すべてのレンジにカプトンフィルム使用
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定 ・LCD製造装置における硝子基板の温度測定 ・真空装置の内部治具の温度測定寸法(幅W×高さH)(mm)16×5表示4点表示精度(%)±1内容量1ケース(10枚)
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