真空用テンプ・プレート ミニサイズ3点表示
3点表示・真空用超小型シール 真空用・世界最小 ラベルの端から示温素子まで1mm。ウェハ・エッジの温度を測ることが出来る プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 貼り付け精度向上 すべてのレンジにカプトンフィルム使用
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定 ・LCD製造装置における硝子基板の温度測定 ・真空装置の内部治具の温度測定寸法(幅W×高さH)(mm)8×3表示3点表示精度(%)±1RoHS指令(10物質対応)対応内容量1ケース(10枚)
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