ステンレス製 高真空L型バルブ XMシリーズ XMD-40CKH0
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)、SバルブシールAssy(保守部品)(材質SUS304+シール材)、固定用Oリング；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下フランジタイプCFオートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ面左内容量1個
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