- フランジサイズ
- 40
- 材質(シール)
- シール材質:FKMForPlasma；配合NO.:3310-75
- 温度範囲(℃)
- 5～150
- 仕様
- シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)、SバルブシールAssy(保守部品)(材質SUS304+シール材)、固定用Oリング；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下
- フランジタイプ
- CF
- オートスイッチ個数
- 数量:オートスイッチなし；検出位置:-
- オートスイッチ種類
- オートスイッチなし(内蔵磁石なし)
- 操作ポート方向
- フランジ面左
