バルブ VLDシリーズ

KDシリーズの基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法を見直した新デザインのバルブです。洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等ですので信頼性及び耐久性性能は変わりません。最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求しました。