アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
仕様【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)
接続口径【パイロットポート】Rc1/8
質量(kg)5.1
フランジ80
フランジタイプKF(NW)
表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地
使用流体不活性ガス系の真空
弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)
オートスイッチ個数1ケ付
インジケータなし
パイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.4～0.7
オートスイッチ種類D-A93L
パイロットポート方向フランジ側
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
内容量1個
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