アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
- 仕様
- 【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
- 材質
- 本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)
- 接続口径
- 【パイロットポート】Rc1/8
- 質量(kg)
- 5.1
- フランジ
- 80
- フランジタイプ
- KF(NW)
- 表面処理
- 外部：硬質アルマイト、内部：素地
- 使用流体
- 不活性ガス系の真空
- 弁形式
- 常時閉(加圧開・スプリングシール)
- オートスイッチ個数
- 1ケ付
- インジケータ
- なし
- パイロット圧力(MPa[kgf/cm2])
- 0.4～0.7
- オートスイッチ種類
- D-A93L
- パイロットポート方向
- フランジ側
- 表面処理(ボディ)
- 外部:硬質アルマイト、内部:素地
- インジケータおよび操作ポート方向
- インジケータなし、フランジ側
- 温度仕様/ヒータの有無
- 5～60℃、ヒータなし
- 内容量
- 1個
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