マスフローコントローラー C-4S2-Lシリーズ
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
サイズ160×33.6×105mm
継手1/4in.SWL相当
再現性±0.2%FS
通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0～5VDC)
流量制御範囲5～100%FS
流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
表面処理機械加工仕上げ
流体気体
バルブ形式N/O ノーマルオープン
応答性6sec
駆動源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
使用周囲温度(℃)5～50 85%RH以下
内容量1個
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