ガスの種類H2サイズ160×33.6×105mm継手1/4in.SWL相当再現性±0.2%FS通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)入出力アナログ信号(0～5VDC)流量制御範囲5～100%FS流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃)表面処理機械加工仕上げ流体気体バルブ形式N/O ノーマルオープン応答性6sec駆動源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA使用周囲温度(℃)5～50 85%RH以下仕様ガス：H2 外部リークレート：1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下 接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム 耐圧：1MPa(G) 動作圧力範囲：50～300kPa 流量(SLM)：30アズワン品番3-8034-05
