PLAZMARK O2クリーニング用 シート
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのシートタイプです。
ラジカル性プラズマ検知に適しています。
A4サイズのシート型なので、面内均一性を一目でチェックすることができます。
感度は高感度、中感度、低感度の3種類からお選びいただけます。
用途
O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。
O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
寸法(mm)(検知部)190×290
材質(本体)PET
本体寸法(mm)210×297×0.2
耐熱温度(℃)100
内容量1セット(5枚)
O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
取扱説明書:
(0.36MB)
注意
※100℃以下の処理条件下でご使用ください。※本製品は直射日光を避け、高温多湿(温度 30℃以下推
※奨) にならない場所に、未開封もしくは密閉再包装した
※状態で保管してください。高温、高湿、直射日光によりイ
※ンジケータが変色したり、目視で変化がなくても変色性能
※および耐久性が低下する恐れがあります。
※本製品は前項に記載した適正な状態で保管し、お手元
※に届いてから1年以内にご使用ください。開放状態で放
※置されますと使用期限よりも前に変色性能および耐久性
※が低下する恐れがあります。
※酸・アルカリ、酸化・還元剤やその他反応性の物質、有
※機溶剤からは隔離して保管してください。これら反応性物
※質によりインジケータが変色したり、目視で変化がなくて
※も変色性能および耐久性が低下する恐れがあります。