4インチ シリコンウエハー ノンドープ(100) 抵抗値 1000Ω
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用、ダミー(モニター用)
仕様パーティクル:0.3μm≦10、導電型:ノンドープ、製造:FZ
サイズ4インチ
直径(Φmm)100±0.5
厚さ(μm)525±20
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1000Ωcm
方位面:100
内容量1箱(25枚)
注意
※製品の特性上、長期欠品時以外はご注文後のキャンセルはお受けできかねます。在庫がない場合は30日程納期がかかります。予めご了承ください。