ウェハー/特殊ケース

本体・フタともに帯電防止タイプです。

ウェハーの出荷・保管用の容器です。ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます。 オールポリプロピレン製。

取り出しやすく、積み重ねもできます。

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)

簡易パックタイプのボクセル登場。 強靭で高い伸縮性、復元性、耐久性に優れた特殊フィルムで製品を挟み込むため、ほかの緩衝材にはない耐衝撃性で製品の安全輸送が実現。 精密機器等の製品を衝撃や落下、振動から守ります。 先の尖ったものを入れて破れることなく空中でしっかり固定されます。 フィルムは復元性に優れ何度でも繰り返し使用できます。 フレームにあるツメを引っ掛けるだけで梱包が完成します。 容器が透明なため中身を取り出さずに確認が容易にできます。

ウエハを清浄に搬送する枚葉タイプです。 アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 積層高さもコンパクトです。 低汚染を追求した材質で製造されています。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。 SS300はガスケットを有し、帯電防止性も品揃えしています。 SS300セットはパッキン付きですので、気密性に優れています。

ケース付きですので、一時的な保管や移動時に便利で、試料を安心して保管できます。 ケースは半透明で内部の観察も容易です。

ウェハーの表を下にして収納します。 ポケットの底は円錘状でウェハーエッジのみ接触します。 スプリングでウェハーを固定します。 トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます(品番が9で始まるもの、4で始まるものそれぞれでのみ可能)。

無アルカリガラスは、低膨張率・高耐熱性等が安定したガラスです。基板稜線は糸面加工です。

アウトガスを極力抑え、低有機汚染性を実現します。 独自のクッション構造により、落下・輸送・振動に強い構造となっております。 気密性に優れています。

使用済みシリコンウェハを再生加工して、再度プロセスに使用できるレベルにまで再生したシリコンウェハです。実験用、教育用など様々な用途に、少量からご提供します。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

帯電防止剤は練り込みタイプですので持続性に優れています。 フタ付き(EY12・ER4Tを除く)

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

容器内部の伸縮膜により保管物がしっかり固定され、保管物同士の接触による傷や輸送中の破損を防ぎます。 突起状のものでも使用可能です。

汎用的な成膜用基板として使用されています。

特殊帯電防止剤をコーティングしてあり、静電気の心配はありません。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

ウェハーを固定できます。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能で、トレーは互いに固定して積み重ねることもできます(品番が9で始まるもの、4で始まるものそれぞれでのみ可能)。

進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ安全に輸送する容器です。有機無機の汚染やパーティクルの発生がきわめて少なく、振動・衝撃にも強いです。サンプルキープ用としても活躍します。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。

装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)

スプリングでウェハーを固定します。

スプリングでウェハーを固定します。

低汚染を追求した材質で製造されています。トレー同士またはトレーとカバーの積み重ねが可能です。パッキン付きですので、気密性に優れています。

装置テスト用(条件出し評価、搬送評価など)