3インチ シリコンウエハー P型(100)
装置テスト用(成膜・レジスト・フォトリソ・エッチングの条件出し評価、パーティクル測定、搬送評価など)
用途装置テスト用、ダミー(モニター用)
仕様パーティクル:0.3μm≦20、導電型:P型、製造:CZ
サイズ3インチ
直径(Φmm)76±0.5
厚さ(μm)380±25
仕上片面ミラー/裏面エッチング、オリフラ
抵抗値≧1Ωcm
方位面:100
内容量1箱(25枚)
注意
※製品の特性上、長期欠品時以外はご注文後のキャンセルはお受けできかねます。