ケミカルタイプのダイアフラム式、耐腐食性に強いPTFE製部品を使用接ガス部にPTFEを使用することで従来のケミカルタイプよりも優れた耐食性を発揮します。実効排気速度20/30L/min型耐食性に優れ、有機溶剤を含んだガスの吸引に適しています。小型・軽量ながら到達圧力は1,000Paを達成しています。メンテナンスが容易です。DCモータの採用により15L~30Lまでの流量設定が可能です。※1.0~5V(入力インピーダンス100KΩ)の信号入力が必要です。