小型マスフローメータ

MEMS技術を用いた、小型のマスフローメータです。
業界トップクラスの小型化を実現しながら、正確な流量計測が可能です。
アナログ出力1点/スイッチ出力2点の外部出力機能を持っています。

材質樹脂温度範囲(℃)0～50(結露なきこと)耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60圧力範囲(Pa)-0.09～0.75使用温湿度範囲0～50℃ 90%RH以下適合流体清浄空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1～5:6:2] ) 圧縮空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1～1:6:2] ) 窒素ガス内容量1個(1個)

注意

※流量レンジは20℃、1気圧(101kPa)、相対湿度65%RHでの体積流量に換算しています。
※積算流量は計算(参考)値です。瞬時流量が1%以下では積算流量としてカウントされません。積算保存機能を使用する場合は、保存回数が記憶素子のアクセス回数(限界は100万回)を超えないようご注意ください。(各種設定の変更もアクセス回数にカウントされます。)
※塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体で、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体をご使用ください。圧縮空気をご使用の場合は、JIS B 8392-1:2012、等級1.1.1～1.6.2 の清浄空気をご使用ください。コンプレッサからの圧縮空気には、ドレン(水、酸化オイル、異物等)が含まれます。本製品の機能を維持するために、本製品の一次側(上流)にフィルタ(濾過度:5μm)、エアドライヤ(最低圧力露点10℃以下)及びオイルミストフィルタ(最大油分濃度:0.1mg/m3)を取り付けてご使用ください。
※精度(特性)については絶対精度を示すものではありません。また、繰り返し精度は短時間での繰り返し性で、経時変化を含みません。流量を0から100%に変化させ、0.005sec(5msec)毎に10秒間取込んだ値の平均値を測定値とし、これを10回繰り返した時のばらつきを評価しています。
※流量精度・繰り返し精度・圧力特性の値は、2次側大気開放基準です。
※実際の応答時間は配管条件によって変わります。応答時間は0.05sec(50msec)から1.50secまで7段階で設定可能です。
※アナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは、約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値と誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上、ご使用ください。
※消費電力はDC24V接続、負荷未接続時の値です。負荷の接続状態によって消費電流が変わりますのでご注意ください。
※本製品の保護回路は特定の誤接続、負荷の短絡に対してのみ効果があり、あらゆる誤接続から保護できるわけではありません。
※本製品は流れによる熱分布の変化を測定しています。縦方向に設置すると対流の影響で熱分布が変わり、ゼロ点がずれる場合があります。
※導入直管部は不要でありますが、配管条件によっては精度に影響する場合があります。より精度よく測定するためには、配管内径の10倍の直管部を設けてください。

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