ユニット型空気ばね式除振装置
仕様
【制振方式】オリフィスによるエアーダンピング
【除振方式】空気ばね
方式【レベル維持】自動レベル維持機構(復帰精度±200μm)
センサークリーンルーム用
固有振動数(Hz)垂直・水平/2.5~3.0
供給圧力(MPa)0.40~0.70(空気源/コンプレッサ・工場エアー・窒素ボンベ)
内容量1台
【除振方式】空気ばね
注意
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特別運賃
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