フジキン ダイヤフラムバルブ

NEW MEGA-ONE LM・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ-ションダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LMの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。
シンプル&コンパクト・パネルマウント用のナットを省略、シンプル&コンパクト
バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示付きです。
良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)
シート材質は、 標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。
接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。