CK3A-G305L / -G310L / -G320L

CK3Mとの組み合わせで高精度・高分解能なリニアスケールやレーザ干渉計を利用し、ナノレベルの精度をもつステージ制御を実現します。
PMACは、位置・速度・トルク・電流・電圧のドライバ機能を兼ね備えており、さまざまな種類のアンプとインタフェースで接続できます。
超精密ステージ制御で、軌跡精度や位置決め精度を向上し、速度を安定させます。
メカ機構の歪み等の影響をテーブルにより補正する機能を用意し、より精度の高い動作を可能にします。
ガルバノ+ステージ同期制御で、レーザ加工品質や生産性を向上させます。