マスフローコントローラ FCS-T1000L H2(水素)
1sec以下の高速応答
流量制御・モニタリングソフト
多種通信ほ方法に対応
- 用途
- マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。
- 仕様
- 最大動作圧力(KPaG)：400
- ガスの種類
- H2(水素)
- 通信方式
- (VDC)アナログ：0～5
- 応答時間(秒)
- ≦2
- 使用推奨温度範囲(℃)
- 5～50
- 材質(Oリング)
- FKM
- 流量精度
- (%・F.S)±2
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 動作差圧(kPa)
- 200～300
- 継手
- 1/4F900
- 流量
- (SLM)：50
- 供給電圧(V)
- (DC)±15
- 適合バルブタイプ
- NC
- 内容量
- 1個
注意
※一般的なマスフロー製品の流量精度は±2% F.S. (最大流量に対して±2%以内)となっております。※高精度化のご要求に対して、±1% S.P. (設定値に対して±1%以内)を保証する高精度製品もラインアップしております。
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