圧力・流量センサの新着商品
「圧力・流量センサの新着商品」です。モノタロウの取扱商品の中から新着商品を探すことができます。
azbil(旧:山武)サファイア隔膜真空計:SPGシリーズ
・単結晶サファイア隔膜を採用:耐食性・耐熱性に優れ、高温環境(約125~200℃)でも再現性の高い計測が可能。・高精度・高速応答:精度はReading基準で約0.25~0.5%、応答も高速でプロセス変動を追従。 。・堅牢構造・多彩な形状
用途・半導体製造装置の真空圧力計測:CVD、エッチング、スパッタリングなどのプロセスチャンバー圧力監視。
1個
欠品中





