- 用途
- 分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。 - 精度
- 大気圧~100hPa ±50%
100hPa~1×103hPa ±15%
1×103hPa~5×10-4hPa ±50%
- 仕様
- セットポイント:0、1、2 (モデルによる)、過圧限界:10bar、デッドボリューム:3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換
- 材質
- 真空接触部:タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26
- 寸法(mm)
- 63×37×37 (対辺寸法)
- 質量(g)
- 130
- フランジ
- NW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ
- 規格
- CE、UKCA
- 出力
- シリアル:RS232またはRS485
- ケーブル長(m)
- 100
- 温度(℃)
- 最高ベークアウト(電子機器非接触):150
- 寸法A(mm)
- 37
- 寸法B(mm)
- 52
- 寸法C(mm)
- 11
- 範囲
- 1.8~9.2V
- アナログ出力
- 0~10
- 再現性(%)
- 100~1×103hPaの間で読み値の2
- 保護等級
- 40
- インターフェース
- ワンプッシュ式
- 測定範囲(hPa)
- 大気圧~5×104(大気圧~3.75×10-4torr)
- 保護機能
- 内蔵フィルター
- コネクタ
- 電気:RJ45/9ピンD-sub
- 保管温度(℃)
- -30~70
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- インジケータ
- ステータス:360°高輝度LEDリング
- 動作温度範囲(℃)
- 5~60°
- 供給電圧(V)
- 直流15~48
- 相対湿度(%RH)
- 31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少
- 対応ソフトウェア
- Labviewドライバー
- 接点定格
- 直流48V (最大) 500mA
- コントローラ
- 互換性:TIC/ADC/TAG