ストローク(Z距離)(mm)0〜5
種類Zステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)14.7
送り方式CMH-6.5F(標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)0.07
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向Z軸1方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003
移動量(ツマミ1回転)0.5mm
