接着剤 アルコワックス

※ ウエハー、チップを研磨する際に、試料をサブストレートに貼り付けるための接着用ワックスです。
※ 摂氏50度に加熱すると軟化しますので、取扱いが簡単です。

(手順)
(1) 試料ホルダーなどをホットプレートに載せて、摂氏50度に加熱させた後、アルコワックスを塗布します。
(2) トロトロになった状態のアルコワックス上に試料を置きます。
(3) ホットプレートの加熱をオフにして、冷まします。
(4) アルコワックスは、冷めると固まり、試料を固定します。
(5) 試料を外し場合は、再び加熱してアルコワックスを溶かします。