材質接ガス部：PPS樹脂(流路ボディ)、セラミック(回路基板)：ガスケット：ふっ素ゴム：コーティング材(回路基板上面)：シリコン系ゴム質量(g)約5(ケーブルを含まず)使用温度範囲(℃)-10～60(周囲温度、計測気体温度ともに)電源(V)DC24出力DC1～5V(ノンリニア特性)応答時間(秒)0.005以下(ステップ状の流量変化に対する95%出力応答時間)対象ガス空気、窒素、ただし検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まないこと。および乾燥気体であること。ダスト、およびミスト(オイルミスト)を含まない清浄気体であること。使用圧力範囲(kPa)-100～+200(ただし圧力特性保証範囲は-70～+200)流量レンジ(L/min)0～0.5コネクタ仕様ロック機構無し、ケーブル引き出し方向：上向き
