- ガスの種類
- He
- アズワン品番
- 3-5068-04
- フルスケール流量
- 200SCCM
- 仕様
- ●外部リークレート：1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
- 材質
- (接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
- 寸法(mm)
- 127×25.5×100
- バルブ形式
- N/Oノーマルオープン
- 電源
- +15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
- 再現性
- ±0.2%FS
- 再現性(%)
- ±0.2FS
- 耐圧(MPa)
- 1(G)
- 接続
- 1/4in.SWL相当
- 通信方式
- アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
- サイズ(mm)
- 127×25.5×100
- 入出力
- アナログ信号(0～5VDC)
- 流量精度
- ±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
- 使用圧力範囲(kPa)
- 50～300
- 応答性
- 6sec
- 流量制御範囲
- 5～100%FS
