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C1005 マスフローコントローラー アズワン 20000068

C1005 マスフローコントローラー アズワン 20000068
C1005 マスフローコントローラー アズワン 20000068

マスフローコントローラー

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ガスの種類H2
フルスケール流量1SLM
全45種類を一覧で見る
内容量1個注文コード20000068品番C1005
参考基準価格(税別)￥104,000販売価格(税込)￥113,300
販売価格(税別)
￥103,000

熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。

ガスの種類
H2
フルスケール流量
1SLM
耐圧(MPa)
1(G)
使用圧力範囲(kPa)
50～300
仕様
●外部リークレート：1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質
(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)
127×25.5×100
バルブ形式
N/Oノーマルオープン
電源
+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性
±0.2%FS
再現性(%)
±0.2FS
接続
1/4in.SWL相当
通信方式
アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
サイズ(mm)
127×25.5×100
アズワン品番
3-5070-05
入出力
アナログ信号(0～5VDC)
流量精度
±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
応答性
6sec
流量制御範囲
5～100%FS

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