3年に1度のメンテナンス サイクルを実現!(大気・N2吸引時推奨期間)・スクロールポンプのようなチップシール交換・性能劣化・摩耗粉無し!ロータリーポンプのような油煙の発生・真空チャンバーの汚染無し!水蒸気及び溶剤等の凝縮性ガスが排気可能!軽量かつコンパクトでスクロール・ロータリーポンプの置き換えが簡単!インバータを使用している為、電源周波数50/60Hzでも同性能!研究施設に最適な低騒音、低振動
