- 用途
- 真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製
- フランジ
- NW25
- インターフェース
- RS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可
- 入力信号
- 測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF
- 出力信号
- セットポイント接点×2ch、アラーム接点
- 入力電源(V)
- DC24、1A
- 測定範囲
- 1×10-8Pa ～ 0.1Pa
- 電圧(V)
- 3k～500(バイアス/最適制御)
- 材質(シール)
- バイトンシール
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 仕様
- 【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0～10V × 2ch
- セット内容
- フランジ、検査成績書付
- タイプ
- トランスミッタタイプ(LED 表示付)
