コフロック

スタンダードマスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル

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内容量1式継手RC1/4フルスケール流量100SLM注文コード21211392品番3665-RC1/4-O2-100SLM-20℃ + CR-400B + CP-STD1-1M

参考基準価格(税別)￥303,900販売価格(税込)￥329,780

販売価格(税別)

￥299,800

この商品は校正温度・継手・フルスケール流量など36種類から選べます他の種類を見る

酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。

用途

大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。

適合流体酸素ガス(O2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1500電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA精度±1.5%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.2%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45動作差圧(kPa)200～300応答性3sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手RC1/4バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)フルスケール流量100SLM流量制御範囲5～100%F.S.電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m³/sec)1×10^-8以下校正温度(℃)20

注意

※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。
【型式説明】
3660 or 3665-(接続)-(流体)-(最大流量)-(校正温度)
*接続：RC1/4(1/4管用テーパめねじ) or 1/4SW(1/4スウェジロック食込継手)等
*最大流量：SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute) or SLM(Standard Liter per Minute)
*校正温度：20℃ or 0℃
CP-STD1-(ケーブル長)
【MODEL 3660 SERIES 標準仕様】
センサ方式：熱式センサー
最大流量レンジ(N2 換算)：10SCCM～100SLM
バルブ方式：比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
制御範囲：FS2～100%(※FS5～100%)
応答性：2sec以内(withinFS±2%)(※3sec以内(withinFS±2%))
精度：FS±1%(25℃)(※FS±1.5%(25℃))
温度係数：FS±0.1/℃(15～35℃)(※FS±0.2/℃(15～35℃))
再現性：FS±0.5%
動作差圧：FS≦5SLM 50～300KPA(G)、FS＞5SLM 100～300KPA(G)(※FS≦50SLM 150～300KPA(G)、FS＞50SLM 200～300KPA(G))
動作可能圧力：500KPA(G)以下
耐圧：980KPA(G)
リークレート：1×10-8Pa・m²/s以下(He透過含まず)
許容周囲温度：5～45℃
許容周囲湿度：10～90%(結露なきこと)
接ガス部材質：ボディ SUS316、バルブシート・シール材 FKM
電気接続：Dsub9ピンKFC Standard(SEMI Standard準拠)
アナログ入力：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)
アナログ出力：0～5VDC(外部負荷抵抗250KΩ以上)
所要電源：+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
重量：約1000g(※約1500g)
※…モデル3665(30SLM～)の場合
【CR-400B 標準仕様】
マスフロー制御機能：流量設定、バルブ強制開閉、ゼロカット
マスフロー入出力：0～5VDC
マスフロー供給電源：±15VDC(300mA)
表示桁：瞬時流量4桁
表示性能：瞬時流量FS±0.1% ±1digit以内
外部制御機能：背面入力端子アナログ信号、RS-485通信(半二重)
イベント出力：2段(瞬時上限/瞬時下限/瞬時上下限から選択)、オープンコレクタ出力(最大定格50V・50mA)
消費電力：約25W
AC電源：85～264VAC 48～440Hz
重量：約400g