- 用途
- 接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
- 適合流体
- 超純水・薬液等液体
- 接続口径
- 1/2"チューブエンド
- 質量(g)
- 100(本体)
- 規格
- IP64(JIS C0920、防まつ構造)
- 出力
- 表示器付、表示:3桁LED、電流出力:4~20mA(リニア)、警報出力:オープンコレクタ(LED2個max80mA 30VDC)
- 電源
- 2~24VDC
- 精度
- ±3%F.S.(25℃)
- 使用温度(℃)
- 液体:0~90(凍結、沸騰なきこと)
- 再現性
- ±0.5%F.S.
- 耐圧(MPa)
- 1
- 流量レンジ
- 2~20L/min
- 周囲湿度(%RH)
- 5~90(結露なきこと)
- 許容周囲温度(℃)
- 0~50
- 材質(接液部)
- New PFA、Super PFA