XY直交度(mm)0.01ストローク(X距離)(mm)±3ストローク(Y距離)(mm)±3ストローク(Z距離)(mm)0～5種類xyzステージテーブル長さ(mm)30テーブル幅(mm)30耐荷重(N)14.7送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F(各軸標準マイクロメータ)移動ガイドXY軸：HG-VCR方式(V溝とクロスローラ)、Z軸：V溝とクロスローラ操作位置(XY軸)サイド質量(kg)0.18感度0.003mmクランプ板クランプ目量マイクロメータ式0.01mm材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地RoHS指令(10物質対応)対応移動方向XYZ軸3方向移動精度(mm)真直度 XY軸：0.002、Z軸：0.003移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
